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ULVAC 愛(ài)發(fā)科 多級羅茨型干泵 現貨 日本低溫區域均熱化（LR系列）在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。氦氣密封通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機形成密閉結構，非常安全。瞬停對策采取了1000msec以?xún)人餐Σ摺?/br>出色的耐腐蝕性
產(chǎn)品型號：LR180/LR421-T廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2024-04-26訪(fǎng) 問(wèn) 量：148
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| 品牌 | ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科 | 價(jià)格區間 | 2萬(wàn)-3萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 儀器種類(lèi) | 真空泵 | 產(chǎn)品類(lèi)型 | 無(wú)油泵 |
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),農業(yè),建材,綜合 |
| 供貨號 | 137.1702.5688 |
ULVAC 愛(ài)發(fā)科 多級羅茨型干泵 現貨 日本
ULVAC 愛(ài)發(fā)科 多級羅茨型干泵 現貨 日本
低溫區域均熱化（LR系列）
在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
氦氣密封
通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機形成密閉結構，非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以?xún)人餐Σ摺?/p>
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對泵內部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運轉狀態(tài)相關(guān)的數據、警告/報警履歷。如果使用專(zhuān)用軟件進(jìn)行計算機通信，則可實(shí)現集中監控。
成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）
縮短備料下料室的排氣時(shí)間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）
| 型號 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | |
| 最大 排氣速度 | 50Hz | 62 m3/h (1030 L/min) | 112 m3/h (1860 L/min) | 183 m3/h (3100 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) |
| 60Hz | 80 m3/h (1333 L/min) | 126 m3/h (2100 L/min) | 237 m3/h (3950 L/min) | |||
| 到達壓力 | 5.0 Pa | |||||
| 最大排氣壓力 （吸入圧力） | 大氣壓 | |||||
| 最大排氣口壓力 （排出圧力） | 1~ 大氣壓 Pa | |||||
| 吸氣口 (CE規格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | |||
| 排氣口 | KF40 | VG50 | ||||
| 質(zhì)量 | 180 kg | 245 kg | 335 kg | 415 kg | ||
| 電源 *1 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz) | |||
產(chǎn)品分類(lèi)
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