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ULVAC 愛(ài)發(fā)科 多級羅茨型干泵 原裝現貨LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過(guò)螺桿形狀和節電技術(shù)的融合，使該系列產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。在4種機型中，您可根據設備的大小、使用條件及用途選擇最佳排氣容量的泵。
產(chǎn)品型號：UR421-T/UR600廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2024-04-26訪(fǎng) 問(wèn) 量：129
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| 品牌 | ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科 | 價(jià)格區間 | 2萬(wàn)-3萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 儀器種類(lèi) | 真空泵 | 產(chǎn)品類(lèi)型 | 無(wú)油泵 |
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),農業(yè),建材,綜合 |
| 供貨號 | 137.1702.5688 |
ULVAC 愛(ài)發(fā)科 多級羅茨型干泵 原裝現貨
ULVAC 愛(ài)發(fā)科 多級羅茨型干泵 原裝現貨
高溫區域均熱化
實(shí)現將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。
氦氣密封
通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機形成密閉結構，非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以?xún)人餐Σ摺?/p>
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對泵內部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運轉狀態(tài)相關(guān)的數據、警告/報警履歷。如果使用專(zhuān)用軟件進(jìn)行計算機通信，則可實(shí)現集中監控。
用途
CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等
| 型號 | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | ||||
| 使用泵 | 干式真空泵 | UR421-T | UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T | |||
| 機械增壓泵 | - | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C-T | ||||
| 最大 排氣速度 | 50Hz | 410 m3/h (6833 L/min) | 653 m3/h (10883 L/min) | 1012 m3/h (16867 L/min) | 1701 m3/h (28350 L/min) | 2700 m3/h (45000 L/min) | |||
| 到達壓力 | 5.0 Pa | ||||||||
| 最大排氣壓力（吸入圧力） | 大氣壓 | ||||||||
| 最大排氣口壓力 （排出圧力） | 1.0~ 大氣壓 Pa | ||||||||
| 吸氣口 (CE規格) | VG100 | VG80(NW80) | VG100(NW100) | VG150(NW100) | VG150 | ||||
| 排氣口 | VG50 | NW40 | NW50 | ||||||
| 質(zhì)量 | 415 kg | 370 kg | 403 kg | 553 kg | 720 kg | ||||
| 電源 *2 | 三相 | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | 200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz) | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | |||||
| 電流值 | 穩定時(shí) | 23 A(at 200V) | 16.4 A(at 200V) | 18.9 A(at 200V) | 29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | |||
| 最大值 | 52.5 A(at 200V) | 17.3 A(at 200V) | 22. 4 A(at 200V) | 34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | ||||
| 冷卻水一次壓力 | 0.2~0.5 Mpa | 0.1~0.3 Mpa | 0.2~0.5 Mpa | ||||||
| 冷卻水出入口壓差 | >0.2 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.2 Mpa | ||||
產(chǎn)品分類(lèi)
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