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更新時(shí)間：2024-04-11 
瀏覽次數：169體積電阻率和表面電阻率
使用該電阻率校正系數，可以使用[公式3.5.1]和[公式3.5.2]計算體積電阻率和表面電阻率。
體積電阻率（單位：Ω·cm）是單位體積的電阻，根據領(lǐng)域的不同，表達方式也不同，
例如材料領(lǐng)域的體積電阻率、電子領(lǐng)域的比電阻、物理領(lǐng)域的電阻率等。
特定于（科學(xué)年表中列出）的物理量，用作許多材料電導率的絕對量度。
另一方面，表面電阻率（單位：Ω/□、Ω/sq.，發(fā)音為歐姆每平方）是單位面積的電阻，
也稱(chēng)為方塊電阻或簡(jiǎn)稱(chēng)為表面電阻，用于涂層、薄膜等。它用于領(lǐng)域應特別注意表面電阻，
因為它可能與使用[公式3.5.2]轉換之前的電阻相混淆。
使用四點(diǎn)探針?lè )ǖ碾娮杪蕼y量長(cháng)期以來(lái)一直用于測量硅片，對于無(wú)限大（和無(wú)限?。┑臉悠芬汛_定值為 4.532。
我們針對矩形和圓形樣品確定了任意尺寸和測量位置的校正系數，并進(jìn)行了實(shí)驗驗證。
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