NITTOSEIKO日東精工 (原 三菱化學(xué))
表面電阻率測試儀
應用行業(yè):用于液晶半導體、材料研究院等行業(yè)。
四點(diǎn)探針?lè )ㄊ菍⑺膫€(gè)針狀電極[圖3.3.2 四點(diǎn)探針]沿直線(xiàn)放置在樣品上,如圖[圖3.3.1 使用四點(diǎn)探針測量]所示。
在兩個(gè)外探針(A和D)之間流過(guò)恒定電流,測量?jì)蓚€(gè)內探針(B和C)之間產(chǎn)生的電位差以求出電阻。
接下來(lái),通過(guò)將獲得的電阻(R,單位:Ω)乘以樣品厚度t(cm)和校正因子RCF(電阻率校正因子)來(lái)計算體積電阻率。
這樣,四探針?lè )ê退奶结樂(lè )ü灿孟嗤臏y量系統,僅與樣品接觸的電極部分不同。
只需將四探針?lè )ǖ奶结槪ㄋ奶结橂姌O)壓在樣品上即可進(jìn)行測量,與之前的四探針?lè )ㄏ啾龋?/p>
無(wú)需在樣品上形成電極,大大提高了工作效率。
[表3.3 四探針?lè )ㄅc四探針?lè )ǖ谋容^] 四探針?lè )óa(chǎn)生的電場(chǎng)圖像如[圖3.3.3 四探針探針產(chǎn)生的電場(chǎng)]所示。
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