膜厚測試儀
膜厚測試儀,分為手持式和臺式二種,手持式又有磁感應鍍層測厚儀,電渦流鍍層測厚儀,熒光X射線(xiàn)儀鍍層測厚儀。
手持式的磁感應原理時(shí),利用從測頭經(jīng)過(guò)非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,來(lái)測定覆層厚度。
也可以測定與之對應的磁阻的大小,來(lái)表示其覆層厚度。
臺式的熒光X射線(xiàn)膜厚測試儀,是通過(guò)一次X射線(xiàn)穿透金屬元素樣品時(shí)·產(chǎn)生低能量的光子,俗稱(chēng)為二次熒光,,在通過(guò)計算二次熒光的能量來(lái)計算厚度值。
采用磁感應原理時(shí),利用從測頭經(jīng)過(guò)非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,來(lái)測定覆層厚度。也可以測定與之對應的磁阻的大小,來(lái)表示其覆層厚度。覆層越厚,則磁阻越大,磁通越小。
利用磁感應原理的測厚儀,原則上可以有導磁基體上的非導磁覆層厚度。一般要求基材導磁率在500以上。如果覆層材料也有磁性,則要求與基材的導磁率之差足夠大(如鋼上鍍鎳)。當軟芯上繞著(zhù)線(xiàn)圈的測頭放在被測樣本上時(shí),儀器自動(dòng)輸出測試電流或測試信號。
早期的產(chǎn)品采用指針式表頭,測量感應電動(dòng)勢的大小,儀器將該信號放大后來(lái)指示覆層厚度。電路設計引入穩頻、鎖相、溫度補償等地新技術(shù),利用磁阻來(lái)調制測量信號。還采用集成電路,引入微機,使測量精度和重現性有了大幅度的提高(幾乎達一個(gè)數量級)。
現代的磁感應測厚儀,分辨率達到0.1um,允許誤差達1%,量程達10mm。
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